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第179章 达成协议（第4页）

谭小松点点头，“那我马上安排！”

这天下午，飞利浦集团旗下半导体部门的总经理彼得和另外技术副总监跟着谭小松等人进入了星环科技公司的晶圆实验生产线内部。

进到这个超高洁净度生产车间里面，彼得等人都是好奇地打量着周围。

不一会儿，彼得看到被这边光刻区正在进行曝光工序的光刻机设备后便愣住了——

这些设备工件台装置完全跟艾斯摩尔和康尼精机以及嘉能研制出来的光刻机设备是不一样的！

工件台装置上面承载晶圆片的装置是浸泡在**里面的，而镜头组也是浸没在**里面。

“我怎么没有看到掩膜台？”

彼得此时吃惊地对谭小松问道。

“彼得先生，我们的掩膜台在镜头组的上方，是可以跟下面的工件台装置同步运动的。”

“什么？！”

飞利浦自家晶圆厂用的是自己控股的艾斯摩尔光刻机设备，目前研制的光刻机设备是那种接近式步进光刻机，掩膜台在物镜组下方。

眼前的这套光刻机设备是彼得之前从来没见过的光刻机设备！

“这是你们自己设计开发的光刻机设备？”

彼得此时嘴巴张得能吞下一个拳头！

“当然。”

谭小松跟一边具体负责设计开发光刻机设备的赵亚东等人都是一脸自豪的表情。

彼得等人绞尽脑汁也是搞不明白眼前的这些人怎么就能研制出这样的光刻机出来，过来好一会儿才开口说道：“我要看看这套光刻机设备到底能不能做到零点一八微米线宽的光刻工艺水平。”

谭小松笑着对赵亚东说道：“那你们给彼得先生看看我们零点一八微米线宽的光刻效果。”

赵亚东随后笑着对彼得说道：“彼得先生，我们已经准备好了一片进行了零点一八微米线宽光刻工序后的晶圆样品，你们可以用电子显微镜察看一下加工效果的。”

彼得等人随后来到了前道工序的一套电镜设备前。