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接下来的两个小时,付成感觉自己的大脑像是被塞进了一台高速搅拌机。
钱立人教授根本没把他当成一个新生,他拉著付成,指著一台锈跡斑斑的机器,开始以一种很快的语速讲解,而且讲得很快。
“这是我们自己攒的反应离子刻蚀机,真空室是找校办工厂焊的,密封性勉强达標。
磁场线圈是拿报废的电机改的,功率不稳。
你看这个石英观察窗,里面都发黑了,这是因为等离子体轰击造成的污染,每次实验都得拆下来用氢氟酸洗,麻烦得要死!”
他一边说,一边在旁边的黑板上飞快地写下一连串付成看得头晕眼花的公式。
“我们现在的问题是,等离子体密度不均匀!
你看这个腔体结构,按照麦克斯韦方程组的理论,电场分布应该是这样的,但是实际测量下来,边缘区域的等离子体浓度只有中心的百分之七十!
这就导致刻蚀速率不一致,晶圆中心都刻穿了,边缘还没反应!”
“我试过调整射频源的功率,也试过改变气体流量,但效果都不好。
有人提出增加一组辅助电极,但那会破坏真空的对称性,引入新的污染源……”
付成站在那里,第一次感受到了什么叫知识的碾压。
他的20点智力让他能勉强跟上钱教授的思路,能理解“密度不均”
、“速率不一致”
这些概念意味著什么。
但他脑子里一片空白,那些公式就像天书,每一个符號他都认识,但组合在一起就成了异星语言。
系统带给他的是学习能力和分析能力的上限,就像给了他一台顶级配置的电脑,可这台电脑里,连作业系统都还没装全,更別提专业的应用软体了。
而眼前的钱立人,他本身就是一座行走的知识库,一部活的半导体发展史。
“你怎么看?”
钱立人突然停下来,转头问付成,眼神里充满了期待。
付成张了张嘴,半天说不出一句话。
他能说什么?
说“教授我觉得您说的都对”
?那不成拍马屁了。
说出自己的想法?他连问题本身都还没完全消化。
这是他重生以来,第一次感到如此的无力。
之前无论是对付张浩宇,还是忽悠刘胖子,他都游刃有余。
因为那些都属於人情世故的范畴,凭藉两世为人的经验和系统的加成,他能轻鬆拿捏。
但现在,他面对的是纯粹的、硬核的科学。
在这里,任何投机取巧都毫无用处。
看到付成窘迫的样子,钱立人眼中的期待慢慢冷却,取而代之的是一丝瞭然。
他摇了摇头,自嘲地笑了笑:“也是,我太心急了。
你才刚来,连《固体物理》都没学过。”
他转身从一个堆满书的架子上,抽出厚厚的一摞书,足有半米高,“砰”
的一声放在桌子上,激起一片灰尘。
“这些,拿回去看。”
钱立人的语气恢復了平淡,“《模擬电路》、《数字电路》、《半导体物理》、《固体物理导论》,还有这几本最新的外文期刊论文,我给你画了重点。
看不懂的就先跳过,但必须看。
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