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第468章 精密之困（第1页）

原子层沉积设备的零部件采购计划启动，但困难比预想的还要大。

陈静拿着采购清单，眉头紧锁：厂长，分子泵的供应商回复了，说最新的涡轮分子泵受出口管制，不能卖给我们。

他们只肯卖老式的油扩散泵，但那个真空度不够。

流量控制器呢？也一样。

高精度的质量流量控制器，需要特别许可。

普通的不够用。

真空腔体呢？这个好一些，但能做高精度不锈钢真空腔体的厂家不多，交货期要两个月。

林凡听着汇报，面色凝重。

科锐这一手，确实打在了七寸上。

没有关键部件，原子层沉积设备就是一堆废铁。

韩博士，用低精度部件替代，行不行？他问。

韩博摇头：不行。

原子层沉积的原理就是在原子尺度上控制薄膜生长，真空度不够，会有杂质；流量控制不准，薄膜厚度不均匀；腔体精度不够，温度场和气流场都会出问题。

那怎么办？韩博沉默片刻，突然说：也许，咱们可以换个思路。

什么思路？不做传统的原子层沉积，做改进版的。

韩博拿起笔，在纸上画示意图，传统ald需要超高真空和精密流量控制，是因为前驱体是气态的。

如果咱们把前驱体改成液态，用喷墨打印的方式，一层一层喷上去呢？喷墨打印？林凡眼睛一亮，你是说，像3d打印那样？对，但精度要达到纳米级。

韩博说，喷墨头要特别设计，液滴体积要控制在皮升级。

前驱体溶液要高度均匀，挥发速度要精确控制。

这个技术，有现成的吗？没有，得自己研发。

韩博说，但好处是，对真空度要求大大降低，流量控制也简单，因为液体比气体稳定。

难点在喷墨头和溶液配方。

林凡思考利弊。

传统ald技术成熟，但设备被卡脖子。

新方案需要从头研发，风险大，但一旦成功，可能实现弯道超车。

值得一试。

他拍板，韩博士，你带团队攻关喷墨打印方案。

设备这边，我继续想办法，两条腿走路。

好。

韩博领命而去。

林凡则开始思考更深层的问题。

科锐能卡设备，是因为他们背后有美国的资本和技术支持。

中国在高精密制造领域，确实还存在短板。

这个短板，不是红星厂一家能解决的。

但总得有人去做。