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第344章 那台趴窝的机器（第1页）

北京西郊。

地面上，这里是一座挂着“向阳精密纺织”

牌子的废弃老厂房，红砖墙上爬满了枯萎的爬山虎，寒风吹过，发出萧瑟的沙沙声。

大门口只有一个看门的老大爷，看起来毫不起眼。

但在厂房地下三十米深处，却是一个恒温、恒湿、防震等级达到核掩体级别的绝密空间。

代号：“深渊”

。

这里没有白天黑夜，只有永远亮着的琥珀色黄光（光刻工艺对紫外线敏感，必须使用黄光照明）。

林向阳换上了全套的白色无尘服，经过三道风淋室，走进了核心实验区。

空气中弥漫着一股臭氧和光刻胶混合的特殊味道，那是半导体工业特有的“硝烟味”

。

“林董。”

一个略显佝偻的身影迎了上来。

这是一位头发花白的老人，眼窝深陷，满眼的红血丝，身上的白大褂领口已经磨破了边。

大家都尊称他：朱教授。

与负责手机芯片设计的梁国栋那种硅谷精英范儿完全不同，朱教授是那种典型的“中科院扫地僧”

。

他曾在大国重器的精密机械领域隐姓埋名几十年，为了造出中国自己的光刻机，被林向阳“三顾茅庐”

请出了山，担任向阳集团光刻机攻关组的总负责人。

“朱教授，辛苦了。”

林向阳看着这位比半年前瘦了一圈的老人，心里有些发酸，“情况怎么样？”

“还是那只‘拦路虎’。”

朱教授指了指实验室中央那台被拆得面目全非的庞然大物。

那是一台二手的尼康s204b光刻机，是向阳集团花了三个亿从二手市场上淘回来的。

但此刻，它原本精密的外壳已经被全部拆除，露出了里面错综复杂的液压管路、激光干涉仪和密密麻麻的线缆。

最核心的晶圆承载台位置，被朱教授团队改造成了两个并排的金属台，看起来像是一对钢铁双胞胎。

这就是向阳集团正在攻关的“双工件台”

（scan）系统。

这也是目前光刻机领域最核心、最难啃的骨头。

传统的单工件台，曝光和测量在同一个台子上，效率低；而双工件台，一个台子曝光，另一个台子同时进行测量预对准，效率翻倍。

这是量产高端芯片的必经之路。

“我们的火种s1虽然卖得好，但那是台积电代工的。”

林向阳看着那台机器，语气沉重，“科恩那些美国人笑话我们，说我们只会画图，不会造纸。

这台机器，就是我们要造的‘纸’。”

“只要这台机器能动起来，我们就有底气。”

林向阳拍了拍栏杆，“开始吧，朱教授。

让我看看它到底卡在哪儿。”