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第362章 黄金铲-盘古s1(第2页)

‘盘古’验证机刚刚组装完成,虽然打通了第一束光,但它的双工件台同步精度、掩膜版对准精度、光源的稳定性,都需要海量的数据来校准。”

林向阳解释道,“如果我们一上来就跑结构复杂的逻辑芯片,一旦出错,你根本不知道是设计问题还是制造问题。”

“但asic不一样。”

赵子明瞬间反应过来了,他的眼睛亮了起来,“asic全是重复单元!

整张晶圆上全是整齐划一的阵列!

这简直就是最完美的‘校准标尺’!”

“没错。”

林向阳打了个响指,“如果第一排的运算核是好的,第二排的坏了,那一定是步进机在移动时出现了y轴偏差。

如果左上角的良率高,右下角的良率低,那就是焦距平整度(levelg)有问题。

这种结构简单的芯片,就是光刻机最好的试金石。”

“我明白了。”

赵子明深吸了一口气,原本的不屑一扫而空,取而代之的是一种工程师的严谨,“这哪里是造芯片,这分明是给光刻机做‘体检’。

林总,你这是拿黄金当铲子,去挖‘精度’这座矿啊!”

“图纸没问题了吧?”

林向阳问。

“没问题!

这种傻瓜结构,我闭着眼睛都能做drc(设计规则检查)。”

赵子明在键盘上敲下回车键,“掩膜版数据(gdsii)生成完毕。

随时可以发往‘深渊’制版。”

……三天后,北京西郊,“深渊”

实验室。

巨大的地下空间里,回荡着光刻机特有的律动声。

“嗡——休——嗡——休——”

那是双工件台在进行高速步进曝光的声音。

每一次停顿,都是一次纳米级的雕刻;每一次加速,都是对控制算法的一次极限考验。

朱教授穿着洁净服,站在监控屏前,死死盯着实时回传的传感器数据。

“同步误差峰值:22纳米……25纳米……回到18纳米。”

朱教授的额头上渗出了细密的汗珠,“还是有点不稳。

尤其是换台的一瞬间,震动抑制还需要优化。”

“先别管误差。”

林向阳站在他身后,冷静地指挥,“让机器跑起来。

不停机,满负荷跑。

我们要看的是在大规模生产状态下,这台机器的极限在哪里。”

这是一场极其奢侈的“练兵”

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