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第362章 黄金铲－盘古s1（第2页）

‘盘古’验证机刚刚组装完成，虽然打通了第一束光，但它的双工件台同步精度、掩膜版对准精度、光源的稳定性，都需要海量的数据来校准。”

林向阳解释道，“如果我们一上来就跑结构复杂的逻辑芯片，一旦出错，你根本不知道是设计问题还是制造问题。”

“但asic不一样。”

赵子明瞬间反应过来了，他的眼睛亮了起来，“asic全是重复单元！

整张晶圆上全是整齐划一的阵列！

这简直就是最完美的‘校准标尺’！”

“没错。”

林向阳打了个响指，“如果第一排的运算核是好的，第二排的坏了，那一定是步进机在移动时出现了y轴偏差。

如果左上角的良率高，右下角的良率低，那就是焦距平整度（levelg）有问题。

这种结构简单的芯片，就是光刻机最好的试金石。”

“我明白了。”

赵子明深吸了一口气，原本的不屑一扫而空，取而代之的是一种工程师的严谨，“这哪里是造芯片，这分明是给光刻机做‘体检’。

林总，你这是拿黄金当铲子，去挖‘精度’这座矿啊！”

“图纸没问题了吧？”

林向阳问。

“没问题！

这种傻瓜结构，我闭着眼睛都能做drc（设计规则检查）。”

赵子明在键盘上敲下回车键，“掩膜版数据（gdsii）生成完毕。

随时可以发往‘深渊’制版。”

……三天后，北京西郊，“深渊”

实验室。

巨大的地下空间里，回荡着光刻机特有的律动声。

“嗡——休——嗡——休——”

那是双工件台在进行高速步进曝光的声音。

每一次停顿，都是一次纳米级的雕刻；每一次加速，都是对控制算法的一次极限考验。

朱教授穿着洁净服，站在监控屏前，死死盯着实时回传的传感器数据。

“同步误差峰值：22纳米……25纳米……回到18纳米。”

朱教授的额头上渗出了细密的汗珠，“还是有点不稳。

尤其是换台的一瞬间，震动抑制还需要优化。”

“先别管误差。”

林向阳站在他身后，冷静地指挥，“让机器跑起来。

不停机，满负荷跑。

我们要看的是在大规模生产状态下，这台机器的极限在哪里。”

这是一场极其奢侈的“练兵”