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第385章 那一杯水的灵感（第4页）

这比我们要死要活都搞不到的157n光源还要短！”

“只要加一杯水，我们手里的193n光源，就能发挥出比顶级f2激光还要强的分辨率！”

轰——就像是一颗深水炸弹在朱克勤的脑海中炸开。

老教授猛地站起来，浑身颤抖。

他冲到黑板前，盯着那个简单的除法算式。

这是最基础的光学原理。

基础到任何一个物理系的大一新生都懂。

但在光刻机这个精密到令人发指的领域，所有人都习惯了“真空”

和“洁净空气”

，从来没有人敢往那个充满了杂质和导电风险的“水”

上去想。

“水……做介质……”

朱教授喃喃自语，手里的烟头烧到了手指都浑然不觉，“如果n=144，代入na=ncdots（theta）……na值可以突破1！

理论上可以达到135！”

“那分辨率……”

朱教授迅速心算，“可以推进到45n，甚至……28n！”

“我的天……”

赵子明在旁边听傻了，“林总，你是说，咱们往光刻机里灌水，这机器反而变强了？”

“不仅是变强，是进化。”

林向阳看着众人，语气坚定，“既然前面的路被封死了，那我们就把路淹了，游过去。”

“这就是——浸没式光刻。”

“不行！

这太疯狂了！”

一直没说话的化工疯子陈志平突然站了出来，一脸的惊恐，“林总，我是搞化工的。

理论上你是对的，但工程上这是自杀！”

“你知道水有多脏吗？哪怕是超纯水，里面也有离子。

而且水在高速流动时会产生气泡！

对于纳米级的光刻来说，一个微小的气泡就是一颗核弹，光线一散射，芯片就全是麻子！”

“还有光刻胶！

现在的光刻胶是亲水的，一碰到水就化了。

难道我们要给每一片晶圆穿雨衣吗？”

陈志平摊开手，指着那台精密的“盘古1号”

：“这等于要把一台显微镜扔进洗衣机里，还要让它拍出高清照片。

这根本做不到！”

，！

“做不到也要做。”

林向阳把那支铅笔从水杯里拿出来，在桌子上重重一顿。

“因为我们没得选。”

“陈老，光刻胶怕水，那你就去研发一种疏水的顶涂层，像荷叶一样把水隔开。

你是全中国最好的化工专家，我相信你搞得定。”