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第386章 气泡的诅咒（第1页）

2014年5月10日，北京西郊，“深渊”

实验室。

原本整洁精密的“盘古1号”

无尘车间，现在看起来就像是一个疯狂科学家的水暖五金店。

机器的外壳被拆开了，无数根透明的聚四氟乙烯软管像血管一样插进了光刻机的核心曝光区。

旁边摆着几个巨大的不锈钢桶，里面装着经过二十道工序提纯的超纯水，正在通过高压泵发出沉闷的嗡嗡声。

“第42次注水曝光实验，开始。”

随着朱教授一声令下，在那极其狭窄到只有几毫米的镜头与晶圆缝隙间，一股清澈的水流被注入。

紫色的激光束穿透水层，轰击在涂有特殊疏水涂层的晶圆上。

三分钟后。

显影结束。

朱教授满怀期待地将晶圆放在高倍电子显微镜下。

然而，下一秒，老人的手重重地拍在了操作台上。

“还是不行！

全是麻子！

全是麻子啊！”

屏幕上显示的并不是清晰的电路图，而是一片仿佛被散弹枪打过的惨烈景象。

原本应该笔直的纳米线条，被无数不规则的黑斑炸断、扭曲。

“气泡。”

林向阳站在屏幕前，脸色凝重。

那些黑斑，就是水中的微小气泡。

在宏观世界里，水里的气泡微不足道。

但在纳米世界里，每一个直径几百纳米的气泡，都是一个致命的凹透镜。

当激光穿过它们时，光路发生散射，就像是在底片上撒了一把沙子。

“这就是‘气泡的诅咒’。”

化工疯子陈志平顶着一头乱糟糟的头发走过来，手里拿着一张检测报告，“我们用的水已经是18兆欧的超纯水了，还在真空脱气机里转了三圈。

理论上里面一个气体分子都不该有。

但在高速流动时，水流冲击晶圆表面，会产生‘空化效应’，凭空炸出无数纳米气泡。”

“这怎么解？”

赵子明看着那一堆废片，心疼得直抽抽，“如果不解决气泡，这水下光刻就是个笑话。

良率连01都不到。”

“两个方向。”

林向阳伸出两根手指，目光在陈志平和王博身上扫过。

“第一，化学。

老陈，水里必须加东西。