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第386章 气泡的诅咒（第4页）

已经面目全非。

它的镜头下方，多了一个造型奇特的“浴霸”

——那是王博用90n工艺雕刻出来的“风刀喷头”

。

而在供水箱里，装满了陈志平特调的、带着淡淡蓝色的“魔法水”

。

“第108次实验。

准备。”

林向阳的声音平静，但手心全是汗。

这是最后的机会。

台积电的库存只能撑一年，如果这条“水路”

走不通，向阳集团的高端之路就断了。

“注水。”

随着高压泵启动，一股极薄的水膜在风刀的压制下，极其平稳地覆盖在了晶圆表面。

高速相机捕捉到了这一幕：水流像是一块凝固的水晶，随着晶圆台的高速移动而移动，没有飞溅，没有断裂，更没有那该死的气泡。

“曝光开始！”

紫色的激光束穿过那层“魔法水”

。

由于水的折射率144介入，原本发散的光线被再次聚焦，以更锐利的角度刺入光刻胶。

十分钟后。

朱教授捧着刚刚显影出来的晶圆，手颤抖得像是在帕金森发作。

他把它放进电子显微镜。

大屏幕亮起。

全场死寂。

没有麻子。

没有黑斑。

映入眼帘的，是一条条笔直、锋利、深邃的电路沟槽。

它们排列得如此紧密，如此整齐，就像是上帝用尺子画出来的一样。

“测量线宽……”

朱教授的声音带着哭腔。

光标卡尺在屏幕上拉动。

数字跳动，最终定格：648n。

“65纳米！”

朱教授猛地摘下眼镜，老泪纵横，“突破了！

我们突破了干式光刻的物理极限！