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第392章 国产联盟的反击（第1页）

2015年1月20日，北京密云，向阳精密工业01号基地。

大寒已过，燕山脚下的积雪还没化尽。

寒风呼啸着穿过这片由废弃纺织厂改造的工业园区，卷起地上的枯草。

但在3号车间里，热浪滚滚。

这里没有顶级晶圆厂那种一尘不染的白色极简风，反而充满了粗砺的重工业气息。

地上铺着防静电胶皮，到处是裸露的线缆和不仅没有抛光、焊缝都清晰可见的不锈钢管道。

“起压！

腔体真空度001帕！”

一个穿着沾满机油的工装、头发乱得像鸡窝的中年男人正趴在一台巨大的机器上吼叫。

他叫沈瑞，半年前，他还只是一个在中关村到处蹭咖啡喝、被投资人当成骗子的海归博士。

而现在，他是这个车间的“疯子头领”

。

在他身下这台机器，外壳是用简陋的铁皮拼起来的，控制面板是一块改装的工业平板，甚至连底座都是从一台二手数控机床上拆下来的。

但它的核心——那个反应腔体，却是沈瑞带着三十个兄弟，在地下室里用手工磨出来的。

这是中国第一台自主研发的电容耦合等离子体刻蚀机。

“射频电源启动！

功率2000瓦！”

“轰——”

机器内部发出了一声沉闷的低吼，紫色的等离子辉光通过观察窗透了出来，映照在沈瑞那张满是油污和胡茬的脸上。

“稳住！

稳住！”

沈瑞盯着示波器上那条疯狂跳动的曲线，“只要这口气憋住了，咱们就能在硅片上挖出坑来！”

站在车间二楼观察台上的林向阳，手紧紧抓着栏杆。

站在他身边的，是同样紧张的王博，以及负责法律确权的沈清仪。

刻蚀机，是芯片制造中仅次于光刻机的第二大难关。

光刻机负责在光刻胶上画出图形，而刻蚀机负责用等离子体这把“化学刀”

，顺着图形把硅片上不需要的部分“啃”

掉。

如果光刻机是画师，刻蚀机就是雕刻师。

此前，这个领域被美国的泛林集团和应用材料绝对垄断。

科恩的实体清单一下来，向阳集团连一颗刻蚀机的螺丝钉都买不到。

“滴——”

十分钟后，机器停止轰鸣。