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第417章 寒冬的回马枪（第1页）

2015年11月13日，清晨。

“深渊”

实验室。

昨夜广场上那场盛大婚礼留下的红灯笼还未摘下，空气中似乎还残留着鞭炮燃放后的硫磺味，以及人们欢庆时的余温。

但在地下三层的核心禁区，气氛却冷得如同极地。

这里没有喜字，没有笑声，只有空气净化系统发出的低沉嗡鸣，以及弥漫在空气中的、那种特有的光刻胶和臭氧混合的味道。

王博还穿着昨天当伴郎时的那件白衬衫，只是领口已经被扯开了，袖子卷到了手肘，满眼都是骇人的血丝。

他脚边的垃圾桶里，堆满了空的红牛罐子。

在他的左手边，监控屏幕显示着“盘古2号”

光刻机的运行状态。

那是用另一台尼康机身改装的备用机，目前主要负责28n工艺的中低端芯片生产。

绿灯常亮，良品率稳定在92以上——但这并不能让王博开心。

因为在他的正前方，那是向阳集团的旗舰——“盘古1号”

。

这台被沈瑞和王博团队魔改到极致的浸没式duv光刻机，此刻正处于停机状态，警示灯闪烁着刺眼的红光。

“数据出来了吗？”

林向阳推门而入。

他换回了那身深色的商务风衣，带着一身深秋早晨的寒气，脸上没有丝毫大哥新婚大喜后的松弛，只有一种属于统帅的冷静与肃杀。

王博没有回头，只是死死盯着电子显微镜下的那张晶圆切片图，声音沙哑得像吞了一把沙子：“出来了。

良品率……还是崩的。”

他按了一下回车键，大屏幕上出现了一张放大的芯片电路图。

原本应该笔直如刀切的ffet栅极，此刻看起来却像是被虫蛀过的烂木头。

边缘模糊，线条扭曲，甚至在关键的连接点发生了严重的错位。

屏幕右上角，跳出一个触目惊心的数字：87。

“这是第四次流片的结果。”

王博指着那个数字，痛苦地抓着头发，“林总，我们是不是太贪心了？用一台原生分辨率只有45n的光刻机，去强行冲击14n……这简直是在用斧头雕刻米粒。”

林向阳走到控制台前，看着那张惨不忍睹的切片图。

他当然知道这有多难。

盘古1号虽然加装了浸没式系统，将等效波长缩短到了193n以下，但物理极限摆在那里。

要想制造出对标苹果a9和高通骁龙820的14n芯片，单次曝光根本不可能，连双次爆光也不可能。

唯一的办法，就是四重曝光。

“说说具体问题。”

林向阳的声音平静，没有责备。

“对准精度。”

王博拿起一只马克笔，在白板上画了四条重叠的线。

“做28n的时候，我们用的是双重曝光，只要把两次曝光的线条对齐就行，这我们已经玩得很溜了。