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第417章 寒冬的回马枪（第3页）

“什么意思？”

王博愣了一下，揉了揉满是红血丝的眼睛。

“你昨天搞无人机编队的时候，是怎么解决风的干扰的？”

林向阳问。

“那是实时反馈啊。

我知道风往左吹，我就让电机往右使劲……”

王博下意识地回答。

“光刻机也是一样的道理！”

林向阳走到白板前，拿起笔，在那个“重影”

的图案上，画了一个奇怪的、扭曲的形状。

“光在经过狭缝时会发生衍射，这就是物理上的‘风’。

四次曝光的误差叠加，就是‘乱风’。”

“既然我们知道它会‘歪’，那我们为什么不在掩膜版上，故意把它画歪一点呢？”

林向阳在白板上画了一个像狗骨头一样两头大、中间细的图形。

“这叫opc-光学临近效应修正。

我知道我们一直在用。

但现在的opc是基于规则的，查表法解决不了四重曝光的非线性误差。”

“你需要一个更聪明的脑子，去预判光的行为。”

“ai。”

林向阳吐出了这个词，“用深度学习。”

“ai？”

王博和苏清河同时惊呼。

“对。

向阳云每天处理数亿张图片，我们的ai在图像识别、边缘检测上的能力已经是世界顶尖的。”

林向阳的语速越来越快，思维像闪电一样划破黑暗，“既然ai能从模糊的监控录像里还原出罪犯的脸，那它能不能从模糊的光刻图案里，‘反推’出原本的掩膜版应该长什么样？”

“这就是ilt-反演光刻技术的暴力破解版！”

“老王，把这几个月来，产生的那913的废片数据，全部喂给ai！”

“告诉ai：这就是失败的样子。”

“再把那87的良品数据喂给ai。”

“告诉ai：这就是成功的样子。”

“然后让神经网络去‘反向传播’，让它自己去寻找那个能在四次曝光、四次误差叠加后，依然能‘负负得正’、精准还原14n电路的‘黄金掩膜’！”

这一刻，王博的眼睛亮了。

那是工程师看到新大陆时的狂喜。

他瞬间听懂了林向阳的思路。

这是用21世纪的算法，去填平20世纪光刻机的物理鸿沟！

“我明白了……我明白了！”