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第462章 被震惊的任总（第6页）

两人坐上未来01，一会后，沐阳带壬总来到光学实验楼，换上防尘服，进入三楼。

这层楼，就是光刻机实际室。

沐阳边说边说：“我们目前在组装第三台光刻机，组装好的两台等试机稳定后，就搬到圆晶厂开始批量生产。”

前几天，EBL光刻机样机出来并试制芯片成功，沐阳得到消息了，欣喜若狂，现在还有一股兴奋劲。

元旦购买技术，九个月就出样机，效率非常快。

能有这么高的效率，主要功臣就是金属3D增材设备和五轴联动数控加工中心，沐阳下发图纸后，一两周内所有结构框架都加工好了。

他所购买的技术图纸，避免了经验问题。

样机研制成功，整个项目组的科研人员都很激动。

一会后，沐阳站在一台已经组装好的光刻机前，他眼前这台光刻机，占地约十五平方。

“董事长，您来了。”

试机的科研人员看到董事长，高兴打招呼。

“嗯。”

沐阳微笑点头。

跟随旁边的壬总，他是见过光刻机的，看到眼前这台设备，他向沐阳看了眼：“沐先生，可以看吗？”

“当然可以，要不带你来干嘛。”

得到沐阳的同意，壬总才靠近设备，透过窗口，观察工作状态中的光刻机。

设备型号称为“XH-EBL01”

，技术参数：

1.最小线宽：小于1n

2.加速电压：5-500kV

3.电子束直径：小于0.5n

4.套刻精度：1n（an+0.2σ）

5.拼接精度：1n（an+0.2σ）

6.加工晶圆尺寸：4-18英寸

7.描电镜分辨率：小于0.2n