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第361章 盘古初啼（第1页）

2012年5月20日，北京西郊，“向阳精密纺织”

厂地下，“深渊”

实验室。

在这个被年轻人戏称为“表白日”

的日子里，位于地下三层的“深渊”

实验室却笼罩着一种近乎宗教般的肃穆。

空气净化系统发出的低频嗡嗡声，掩盖了数十名工程师粗重的呼吸声。

所有人的目光，都聚焦在实验室中央那台被防静电帘幕层层包裹的庞然大物上。

它没有asl那种极具科幻感的白色流线型外壳，相反，它看起来丑陋而狰狞。

无数粗细不一的线缆像血管一样裸露在外，连接着旁边的控制柜和冷却液泵；核心的光学系统被固定在一个重达二十吨的花岗岩基座上，周围还缠绕着用来隔绝微震的减震弹簧。

这就是“盘古”

验证机。

一台由走私来的德国光栅尺、国产的老旧光源、王博手写的控制算法，以及无数个不眠之夜拼凑起来的“弗兰肯斯坦”

。

“各项参数检查完毕。”

王博坐在主控台前，声音有些干涩。

他的手指悬在那个红色的“执行”

键上方，微微颤抖。

这是他人生中第一次对自己的数学模型感到恐惧。

“双工件台气浮高度：15微米。

锁定。”

“干涉仪激光强度：正常。

锁定。”

“掩膜版对准误差：低于5纳米。

锁定。”

“预测控制算法：在线。

锁定。”

负责硬件总装的朱教授站在观察窗前，手里紧紧攥着一块被汗水浸透的手帕。

老人花白的头发在无影灯下显得格外刺眼，他像是一个等待孩子出生的父亲，既期待又害怕。

“向阳……”

朱教授转过头，看向一直站在角落里的林向阳。

林向阳穿着洁净服，双手抱胸，眼神深邃得像一口古井。

他知道这台机器意味着什么。

这是中国半导体工业在黑暗中摸索了三十年后，试图点亮的第一根火柴。

“开始吧。”

林向阳点了点头，语气平静，“不管结果如何，我们都得迈出这一步。”

朱教授深吸一口气，对着麦克风下达了指令：“盘古一号，第一次全流程光刻实验，启动。”

“收到。

启动曝光程序。”