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第361章 盘古初啼（第2页）

王博狠狠地按下了回车键。

“嗡——”

伺服电机的啸叫声瞬间变了。

原本静止的双工件台开始在磁悬浮导轨上加速。

这就是之前困扰了他们无数个日夜的“死亡之舞”

。

两个工件台，一个承载着硅片，一个承载着掩膜版，它们必须以极高的速度-500s反向运动，并且在运动中保持纳米级的同步。

只要有一方慢了哪怕一微秒，刻出来的电路图就会变成一团模糊的鬼影。

大屏幕上，代表位置误差的曲线开始剧烈跳动。

所有人的心都提到了嗓子眼。

“预测补偿介入……”

王博盯着屏幕，语速极快，“前馈量增加5……抑制震荡……稳住了！”

只见那条原本狂暴的曲线，在即将触碰红线的一瞬间，像是被一只看不见的大手硬生生地按了回来，死死地压在绿色的安全区内。

“同步误差：18纳米！

稳定！”

“曝光！”

随着指令下达，一道刺眼的深紫色光束（krf准分子激光，波长248n）穿过复杂的光学透镜组，穿过掩膜版上的电路图案，最终轰击在涂满了光刻胶的硅片上。

那一瞬间，光与影在微观世界里完成了一次精密的雕刻。

“第一场曝光完成。”

“步进移动……”

“第二场曝光完成……”

机器有节奏地律动着，像是一颗巨大的心脏在跳动。

十分钟后。

“曝光结束。

晶圆传出。”

机械臂发出一声轻响，将那片承载着所有人希望的12英寸晶圆送到了显影台。

接下来的显影、定影过程，对于在场的每一个人来说，都像是漫长的酷刑。

终于，朱教授颤颤巍巍地用镊子夹起晶圆，放入了旁边的高倍电子显微镜下。

图像被投射到了实验室的大屏幕上。

死一般的寂静。

屏幕上，呈现出了一幅黑白分明的几何图案。

那是密密麻麻的晶体管栅极，像是一座座整齐排列的微型迷宫。

线条笔直，边缘锐利，没有重影，没有断裂。

屏幕右下角的标尺显示：lewidth:1802n。

“成……成了？”

刚刚加入团队不久、原本对这台“拼装机”

不抱希望的赵子明，张大了嘴巴，眼镜差点滑落下来。

“成了！

！